Das Unternehmen Vacom aus Großlöbichau bei Jena hat in dieser Woche eine Weltneuheit vorgestellt: den Sensor Cassini, der zuverlässig den Druck in Vakuumkammern überwacht.
Diese Kammern werden unter anderem für die Herstellung von Mikrochips oder Solarzellen benötigt. „Darin braucht es eine kontrollierte Umgebung für den Ablauf der Prozesse“, sagt Klaus Bergner, der bei Vacom für die Technologie verantwortlich ist. Aktuell braucht es noch drei unterschiedliche Sensoren, um die Parameter zu überwachen.
Kompakter Sensor Cassini revolutioniert Vakuumtechnik
Mit dem Sensor Cassini hat Vacom eine Alternative entwickelt, die nur noch die Größe eines Eierbechers hat. Die Forschungsarbeit begann bereits im Jahr 2019. Zuletzt waren mehr als 20 Mitarbeiter an der Entwicklung beteiligt. Auf der Fläche eines Daumennagels vereint der Sensor gleich drei separate physikalische Messprinzipien aus der herkömmlichen Vakuumtechnik. Der Sensorkern deckt einen sehr breiten Druckbereich vom Atmosphärendruck bis zum Hochvakuum ab.
Eine spezielle Ausleseelektronik ermittelt die Daten in Echtzeit und gewährleistet eine konsistente Auswertung über den gesamten Druckbereich. Ein farbiger LED-Ring visualisiert Veränderungen und macht den Systemstatus für den Anwender auf einen Blick ersichtlich. Der neue Sensor kommt ohne per- und polyfluorierte Alkylsubstanzen (PFAS) aus.
Weltweites Interesse an der Neuentwicklung
Kunden in Deutschland, Tschechien und den USA haben die Vorserienmodelle des Sensors bereits ein Jahr lang getestet und Impulse für das finale Modell eingebracht. Diese Woche stellte Vacom die Neuheit 130 Unternehmen vor, die sich aus aller Welt zu einer Präsentation zugeschaltet hatten. Besonders in der Halbleiterindustrie, der Analyse- und der Beschichtungstechnik sieht das Unternehmen viel Potenzial für die patentgeschützte Innovation, wie Geschäftsführer Jens Bergner sagt. „Für uns hat die Neuheit eine hohe strategische Bedeutung.“ Ziel sei es, 5000 Exemplare pro Jahr abzusetzen.
Weitere Kandidaten für den Innovationspreis
Der Thüringer Innovationspreis wird am 26. November in Weimar verliehen. In vier Kategorien sind jeweils drei Unternehmen nominiert. Vacom gehört zu den drei Kandidaten in der Kategorie Industrie und Material.
