Zusammenfassung

  • Das Unternehmen X-Fab steht im Finale des Thüringer Innovationspreises.
  • Die Nanostruktur nach dem Mottenaugen-Prinzip ermöglicht eine bis zu 100 Prozent höhere Empfindlichkeit.
  • Die Gewinner des Thüringer Innovationspreises werden am 26. November in Weimar bekannt gegeben.

X-Fab aus Erfurt gehört zu den Finalisten beim Thüringer Innovationspreis. Das Unternehmen hat eine spezielle Anti-Reflexion-Beschichtung auf Chipsensoren entwickelt.

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Die von X-Fab entwickelte Nanostruktur nach dem Mottenaugen-Prinzip reduziert Reflexionsverluste an der Siliziumoberfläche. Dadurch gelangt mehr Licht in CMOS-basierte optische Sensoren, was zu einer bis zu 100 Prozent höheren Empfindlichkeit und einer gleichmäßigeren Signalantwort für breite Spektralbereiche führt. Die Technologie verbessert die Detektionsleistung, ermöglicht kompaktere Designs und senkt den Energieverbrauch in Anwendungen, die Lichtquellen benötigen.

Vollständig in Fertigungsprozess integriert

Ein weiterer Vorteil ist die vollständige Integration in den bestehenden CMOS-Fertigungsprozess. „Das Ergebnis sind kleinere, performantere, ressourcenschonende und langlebigere Sensoren, die letztendlich kosteneffizientere Produkte ermöglichen, da eine vergleichbare Leistung bisher nur über eine aufwändige Rückseitenbeleuchtung erzielt werden kann“, erläutert Steffanie Fessel von X-Fab.

Kandidat für Thüringer Innovationspreis
X-Fab stellt Halbleiter in Erfurt her: Wafer-Level-Kontaktierung und Vorspannung mit Sondennadeln.© X-Fab

Typische Einsatzgebiete für CMOS-basierte Photodioden sind Umgebungslichtsensoren, die zum Beispiel die Helligkeit von Displays regeln. Photodioden finden sich aber auch in Abstandssensoren, Positionsgebern, Lichtschranken, Rauchmeldern, Strichcode-Lesern, UV-Dosimetern, in der optischen Datenübertragung oder Spektrometern. Die Technologie sei besonders für Anwendungen geeignet, die hohe Präzision, geringe Baugröße, einen weiten Spektralbereich, robuste UVC-Detektion und Energieeffizienz erfordern, sagt Fessel.

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Internationale Zusammenarbeit bei Entwicklung

Die Idee für die Innovation entstand bereits 2005. Nach und nach entwickelte sich daraus ein interdisziplinäres und internationales Team von 30 Personen mit Experten verschiedener Standorte, unter anderem aus den Bereichen Prozessentwicklung, Prozesscharakterisierung, Fertigung und Design-Support. Seit 2024 steht die neue Technologie den Kunden zur Verfügung.

Weitere Kandidaten für den Innovationspreis

Die Stiftung für Technologie, Innovation und Forschung Thüringen vergibt den Thüringer Innovationspreis am 26. November in Weimar. X-Fab nimmt in der Kategorie Licht und Leben teil und ist neben Carl Zeiss Microscopy aus Jena und dem Fraunhofer IKTS nominiert.